材料简介
Introduction
LEQZ 超低膨胀石英玻璃口径已达2米，在室温区间下具有近零的热膨胀系数，零膨胀温度区域可控。作为精密光路系统的反射镜、激光谐振腔体等部件应用于天基太空望远镜、半导体光刻设备用光学元件、原子钟等领域。
LEQZ ultra-low expansion quartz glass has a diameter of up to 2 meters and exhibits near-zero thermal expansion coefficient at room temperature, with controllable zero-expansion temperature range. It is used as reflective mirrors for precision optical systems, laser resonator cavities, and components in space-based telescopes, semiconductor lithography equipment optical elements, atomic clocks, and other fields.
热膨胀系数
Coefficient of Thermal Expansion
热膨胀系数低 / 过零点温度 20℃
Near-zero thermal expansion coefficient
CTE 均匀性
CTE Homogeneity
① OD1100×125 mm CTE均匀性17.1 ppb/℃
② 153×153×7 mm CTE均匀性5.1 ppb/℃
物理性能
Physical Property
| 项目 | LEQZ® |
|---|---|
| 平均线膨胀系数5~30℃（α） | 0 ± 30 ppb/℃ |
| 导热系数（K） | 1.31 ± 0.2 W/(m·K) @ 22℃ |
| 热扩散率（D） | 0.8 ± 0.05 mm²/s @ 22℃ |
| 体积热阻率200℃ | （5-7）× 10⁻12 Ω·cm |
| 平均比热（Cp） | 760 ± 40 J/(kg·℃) |
| 应变点 | 890℃ |
| 退火点 | 1000℃ |
| 软化点 | 1300℃ |
| 泊松比（ν） | 0.15 ± 0.03 |
| 努氏硬度，100g，20s | 518 ± 10% kg/mm² |
| 密度（ρ） | 2.21 ± 10% g/cm³ |
| 比刚度（E/ρ） | 3.0 ± 0.2 × 10⁶ m |
| 剪切模量（G） | 29 ± 5 GPa |
| 体积模量（K） | 34.1 ± 5 GPa |
| 弹性模量（E） | 67.6 ± 10 GPa |
| 折射率（标称CTE材料） | 1.482 ± 0.003 (632.8 nm) |
| 阿贝数（Vd） | 52.1 ± 1 |
物理性能
Physical Property
| 型号 |
应力双折射 (mm/cm) （95%置信区） |
径向均匀性 (ppb/℃) （95%置信区） |
条纹度 | 过零点温度 | 平均线性CTE |
|---|---|---|---|---|---|
| LEQZ-1 | 10 | 10 | 100% | 5-35℃ ± 5℃ | ± 30 ppb |
| LEQZ-2 | 20 | 15 | 100% | 5-35℃ ± 10℃ | ± 30 ppb |
| LEQZ-3 | 20 | 15 | 100% | 5-35℃ ± 10℃ | ± 30 ppb |
| LEQZ-4 | 30 | 30 | 200% | 5-35℃ ± 10℃ | ± 30 ppb |
| LEQZ-5 | NS | 100 | NS | NS | ± 100 ppb |
气泡及夹杂物
Bubbles and inclusions
| 型号 | 尺寸范围 (mm) | 气泡及夹杂物 |
|---|---|---|
| LEQZ-1 | Φ ≤ 500 | 最大夹杂物直径：1 mm ｜ 数量/100 cm³：≤ 24个 ｜ 平均数量/100 cm³：≤ 0.61个 |
| LEQZ-2 | Φ ≤ 500 |
关键层（表面5 mm）最大夹杂物直径：1 mm ｜ 数量/100 cm³：≤ 24个 ｜ 平均数量/100 cm³：≤ 0.61个 非关键层最大夹杂物直径：2.5 mm ｜ 平均数量/100 cm³：≤ 1.2个 |
| LEQZ-3 | 500 < Φ ≤ 1500 |
关键层（表面5 mm）最大夹杂物直径：2 mm ｜ 数量/100 cm³：≤ 37个 ｜ 平均数量/100 cm³：≤ 1.2个 非关键层最大夹杂物直径：6.4 mm ｜ 平均数量/100 cm³：≤ 3.7个 |
| LEQZ-4 | Φ ≤ 500 |
最大夹杂物直径：2.5 mm ｜ 平均数量/100 cm³：≤ 1.2个 最大夹杂物直径：6.4 mm ｜ 平均数量/100 cm³：≤ 3.7个 |
| LEQZ-5 | Φ ≤ 1500 | 无要求 |
